高精度量具（塞規(guī)）在淬火后須進行冷處理．以減少殘余奧氏體量．從而增加尺寸穩(wěn)定性。冷處理溫度一般為一70—－80℃并在淬火冷卻到室溫后立即進行，以免殘余奧氏體發(fā)生陳化穩(wěn)定。
淬火和低溫回火。（環(huán)規(guī)）量具鋼為過共析鋼．通常采用不全淬火加低溫回火處現(xiàn)在_硬度的前提下，盡量降低淬火溫度并進行預熱，以減少加熱和冷卻過程中的溫差及淬火應力。量具的淬火方式為油冷（20～30℃）不宜采用分級淬火和等溫淬火．只有在特殊情況下才予以考慮。一般采用低溫回火，回火溫度為150～160℃，回火時間不應小于4～5h.
調質處理。其目的是獲得回火索氏體組織，以減少淬火變形和提高機械加工的光潔度。
量具在使用過程中隨時間延長而發(fā)生尺寸變化的現(xiàn)象稱為量具的時效效應。這是因為．①用于制造量具的過共析鋼淬火后含有數量的殘余奧氏體，殘余奧氏體變?yōu)轳R氏體引起體積膨版。②馬氏體在使用中繼續(xù)分解，正方度降低引起體積收縮③殘余內應力的存在和重新分布，使彈性變形部分地轉變?yōu)樗苄宰冃我鸪叽缱兓?。因此在量具（螺紋環(huán)規(guī)）的熱處理中．
